儀器簡(jiǎn)介：

功能特點(diǎn)：去除碳?xì)浠衔飳?duì)TEM和SEM樣本載臺(tái)或樣品的污染，以增強(qiáng)樣品的成像能力（低電壓），提高化學(xué)微量分析時(shí)的精度。

優(yōu)勢(shì)：不需要其他的原料，只要空氣就能夠滿足要求，使用方便而且沒(méi)有污染。

主要技術(shù)參數(shù)：

1.功率：5 - 99 W連續(xù)可調(diào)等離子功率。

2.壓力：-2 Torr – 5 mTorr。

應(yīng)用領(lǐng)域：

儀器廣泛應(yīng)用于除去對(duì)TEM和SEM樣本載臺(tái)或樣品的污染，清洗各類光闌等電子顯微鏡配件，清洗樣品表面，不會(huì)改變樣品元素成份和表面結(jié)構(gòu)特征。