儀器簡介：

功能：通過非接觸的方式進行樣品表面三維形貌觀察和測量。最高分辨率達10 nm，可以方便快捷地獲取影像，同時配備豐富的測量功能，可測量材料線粗糙度及面粗糙度。

優勢：采用了雙共焦系統，結合高靈敏度的探測器，可以測量那些具有不同反射率材料的樣品。多層模式可實現對透明樣品的頂部的透明層進行觀察和測量。OLS4100 是業界首次同時保證了"正確性"和"重復性"的激光掃描顯微鏡。

主要技術參數：

1、放大倍數：10倍~17280倍；

2、光學變焦：1倍~8倍；

3、光源：405 nm半導體激光，LED光源；

4、平面分辨率：120 nm，高度分辨率：10 nm。

應用領域：

廣泛應用于鋼鐵、有色金屬、環境、食品、化工、制藥、半導體、陶瓷及高分子等材料的2D、3D表面形貌觀察、線粗糙度及面粗糙度的測量。