儀器簡介:功能:臺(tái)階高度、粗糙度、波紋度、翹曲度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌測(cè)量及分析。低測(cè)定力模式不僅能夠避免劃傷樣品,也能對(duì)于軟性樣品進(jìn)行測(cè)試,適合于各類晶片、薄膜、涂層、MEMS、平板顯示等領(lǐng)域的表面測(cè)量。優(yōu)勢(shì):采用了Kosaka獨(dú)有的直動(dòng)式臺(tái)階測(cè)量方式,有效避免了傳統(tǒng)杠桿式臺(tái)階儀所帶來的圓弧誤差。
2022-01-07 【檢驗(yàn)檢測(cè)常見問題】 Tags: 分析儀器 物性分析 臺(tái)階儀